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SGC-2 自动椭圆偏振测厚仪

产品型号:  

产品时间:  2018-04-28

所  在  地:  天津市南开区华苑产业园区鑫茂科技园G座

产品特点:  椭圆偏振法测量的原理很早就已提出,相应的测试方法和设备也不断地被改进和创新,使得椭圆偏振法成为重要的测试手段,并广泛地应用在光学、材料、生物、医学等各个领域。其中测量薄膜材料的厚度、折射率和消光系数是椭圆偏振法Z基本、Z重要的应用之一 。

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产品概述

仪器特点:
  ●仪器采用消光式椭圆偏振方式测量
  ●精度高、自动控制
  ●光源采用氦氖激光,波长精度高
  ●仪器采用USB接口与电脑连接
  ●配套软件对采样数据具有多种处理方式,适用于不同需要
  ●软件有完整版及学生版两种版本,适于教学要求

 

技术指标:

编号

名称

参数

1

测量范围

1nm~4000nm

2

测量zui小值

≤1nm

3

镀膜折射率范围

1.300~10。000

4

入射角

40°~90° 误差≤0.05°

5

偏振器方位角读数范围

0°~180°

6

偏振器步进角

0.0375°/步

7

测量精度

±0。5nm(10nm,±0。5nm)

8

光学中心高度

75mm

9

工作台直径

φ10mm~φ120mm

10

厚度

≤10mm

 


 

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