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SGC-10薄膜测厚仪

产品型号:  

产品时间:  2018-04-25

所  在  地:  天津市南开区华苑产业园区鑫茂科技园G座

产品特点:  SGC-10薄膜测厚仪,适用于介质,半导体,薄膜滤光片和液晶等薄膜和涂层的厚度测量。该薄膜测厚仪,是我公司与美国new-span公司合作研制的,采用new-span公司先进的薄膜测厚技术,基于白光干涉的原理来测定薄膜的厚度和光学常数(折射率n,消光系数k)。

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产品概述

强大的软件功能:

界面友好,操作简便,用户点击几下鼠标就可以完成测量。便捷快速的保存、读取测量得到的反射谱数据数据处理功能强大,可同时测量多达四层的薄膜的反射率数据。一次测量即可得到四层薄膜分别的厚度和光学常数等数据。材料库中包含了大量常规的材的光学常数数据。用户可以非常方便地自行扩充材料数据库。

 

产品功能适用性:

该仪器适用于多种介质,半导体,薄膜滤光片和液晶等薄膜和涂层的厚度测量。

 

典型的薄膜材料为:

SiO2CaF2MgF2、光刻胶、多晶硅、非晶硅、SiNxTiO2、聚酰亚胺、高分子膜。

 

典型的基底材料为:

SiGeGaAsZnSZnSe、铝丙烯酸、蓝宝石、玻璃、聚碳酸酯、聚合物、石英。

仪器具有开放性设计,仪器的光纤探头可很方便地取出,通过仪器附带的光纤适配器(如图所示)连接到带C-mount的显微镜(显微镜需另配),就可以使本测量仪适用于微区(>10μm,与显微镜放大率有关)薄膜厚度的测量。

技术指标:

 

名称

参数

厚度范围

20nm-50um(只测膜厚),

100nm-10um(同时测量膜厚和光学常数n,k)

根据薄膜材料的种类,其范围有所不同。

准确性

<1nm或<0.5%

重复性

0。1nm

波长范围

380nm-1000nm

可测层数

1-4

样品尺寸

样品镀膜区直径>1.2mm

测量速度

5s-60s

光斑直径

1.2mm-10mm可调

样品台

290mm*160mm

光源

长寿命溴钨灯(2000h)

光纤

纯石英宽光谱光纤

探测器

进口光纤光谱仪

电源

AC100V-240V,50HZ-60HZ

重量

18kg

尺寸

300mm*300mm*350mm


 

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